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測高儀是放置于平臺上進行單軸測量的儀器，理想的擺放平臺是花崗石平臺。

根據使用的測量系統可將測高儀分為：

光柵測量系統測高儀

感柵測量系統測高儀

容柵測量系統測高儀

不同的型號配置對應不同的使用環境，在車間現場或計量實驗室不同的使用環境對工件進行測量。測高儀可完成常用參數的測量工作，如高度、深度、孔徑、槽寬、軸心距、孔心距等參數，二維測高儀還可進行平面度、平面角度、錐度的測量。通過使用相應的附件還可以進行垂直度的測量。可替代如卡尺、千分尺、角度尺等傳統測量工具，使用方式多樣的多功能測量設備。

TRIMOS測高儀的主要部件是Heidenhain金屬光柵尺，來保證測量精度。

光柵尺是由標尺光柵和光柵讀數頭兩部分組成。

光柵測量位移的原理是以光柵柵距為一把標準尺子對位稱量進行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴，且制造困難。為了提高系統分辨率，需要對莫爾條紋進行細分，光柵尺傳感器系統多采用電子細分方法。當兩塊光柵以微小傾角重疊時，在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產生莫爾條紋，隨著光柵的移動，莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉換為對莫爾條紋個數的測量。